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STOCK PCD 微鑽刀具，專為半導體噴淋頭高密度微孔加工而設，展現穩定、高效的解決效能。
半導體設備中的噴淋頭（又稱勻氣盤），圓盤上密集分布著數百至上千個微小通孔，主要用於蝕刻等對精度要求極高的製程。材料多採用化學氣相沉積碳化矽（CVD-SiC），相較傳統石英材料擁有更長的使用壽命，但價格也相對昂貴。
作為半導體設備的核心零組件之一，噴淋頭廣泛應用於清洗、蝕刻、沉積等製程，其機械加工品質將直接影響整體製程的穩定性與效率。噴頭屬於氣體分配裝置，所需微孔不僅數量多，且孔徑需具備極高一致性。加工過程中須避免中途換刀，同時確保每一孔的孔徑一致，這對刀具的穩定性與壽命提出嚴苛挑戰。
碳化矽屬高硬脆材料，加工孔徑小、深徑比大，鑽削過程中極易產生崩缺，導致刀具壽命縮短，甚至出現刀具斷裂殘留孔內等風險。
因此，選用 STOCK 的 PCD 微鑽孔刀具，可在半導體噴淋頭加工中展現穩定且高效的切削表現，並大幅提升微孔加工的一致性與良率。
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STOCK PCD Micro Drills – Reliable Solutions for High-Density Micro-Hole Machining in Semiconductor Showerheads
In semiconductor equipment, showerheads (also known as gas dispersion plates) feature hundreds to thousands of densely distributed micro-holes, playing a key role in etching and other precision-driven processes.
These components are often made from chemical vapor deposition silicon carbide (CVD-SiC), which offers significantly longer service life than traditional quartz but at a higher material cost.
As a core component in semiconductor tools, showerheads are widely used in cleaning, etching, and deposition processes. Their machining quality directly affects overall process stability and efficiency. The large number of holes, combined with strict requirements for diameter consistency, demands tools with excellent stability and long tool life—ideally without requiring tool changes during production.
CVD-SiC is a highly hard and brittle material, and its micro-holes often have high aspect ratios. This makes drilling extremely challenging, with risks such as chipping, rapid tool wear, or tool breakage inside the hole.
To address these challenges, STOCK’s PCD micro drills deliver exceptional stability, efficiency, and consistency when machining semiconductor showerheads, significantly improving productivity and hole quality.
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STOCK PCD-Mikrobohrer – Zuverlässige Lösung für die Hochpräzise Mikrobohrbearbeitung von Showerheads in der Halbleiterfertigung
In Halbleiteranlagen sind sogenannte Showerheads (auch Gasverteilplatten genannt) mit hunderten bis tausenden eng beieinanderliegenden Mikrobohrungen ausgestattet, die für Ätzprozesse und andere hochpräzise Anwendungen essenziell sind.
Diese Komponenten bestehen häufig aus chemisch gasphasenabscheidendem Siliziumkarbid (CVD-SiC), das im Vergleich zu herkömmlichem Quarz eine deutlich längere Lebensdauer bietet, allerdings auch kostenintensiver ist.
Als zentrales Bauteil in der Halbleiterfertigung wird der Showerhead in Reinigung, Ätzung und Abscheidung eingesetzt. Die Qualität der mechanischen Bearbeitung beeinflusst direkt die Prozessstabilität und Effizienz.
Die Vielzahl an Bohrungen sowie deren geforderte Maßgenauigkeit stellen hohe Anforderungen an das Werkzeug – insbesondere in Bezug auf Standzeit und Bohrkonsistenz ohne Werkzeugwechsel.
CVD-SiC ist ein extrem hartes und sprödes Material. Die Kombination aus kleinen Bohrdurchmessern und hohem Aspektverhältnis erschwert den Bearbeitungsprozess erheblich – Ausbrüche, Werkzeugverschleiß oder Bruch im Bohrloch sind häufige Herausforderungen.
Die PCD-Mikrobohrer von STOCK bieten eine hervorragende Stabilität und Effizienz bei der Bearbeitung solcher Bauteile und sorgen für reproduzierbare Ergebnisse mit hoher Lochqualität.